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產(chǎn)品分類
Product CategoryFR-Ultra是一種緊湊型設(shè)備,專門用于快速、準(zhǔn)確和無損測量半導(dǎo)體材料的厚/超厚層及透明層。
Filmetrics F3-sX半導(dǎo)體薄膜測量儀可以測試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度,可測大厚度達(dá)3毫米。此類厚膜,相較于較薄膜層表面較粗糙且不均
Filmetrics F32薄膜厚度測量儀 使用F32可以簡單快速地在線測量膜厚。從對膜的頂部和底部反射光譜進行分析可得到實時厚度信息。
Filmetrics F60薄膜厚度測量儀 電動R-Theta平臺自動移動到選定的測量點,并在幾秒鐘內(nèi)提供厚度測量。 選擇數(shù)十種預(yù)定義的極坐標(biāo),矩形或線性地圖模式中的一種,或創(chuàng)建自己的地圖模式,不限制測量點的數(shù)量。 典型的49點圖形大約需要45秒。
Filmetrics F40薄膜厚度測量儀 產(chǎn)品能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米
Filmetrics F54薄膜厚度測量儀能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米