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在電子顯微鏡（電鏡）的微觀探索領(lǐng)域，圖像的清晰性和準(zhǔn)確性至關(guān)重要。而電鏡防振臺作為保障電鏡穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵部件，其特殊的結(jié)構(gòu)原理發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。電鏡防振臺的主要目標(biāo)是隔離外界振動對電鏡的干擾，為電鏡創(chuàng)造一個(gè)近乎“靜止”的工作環(huán)境。其結(jié)構(gòu)...
白光干涉儀目前在3D檢測領(lǐng)域是精度高的測量儀器之一，在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無法達(dá)到其測量精度要求。儀器的測量原理：本儀器是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在C...
接觸式光刻機(jī)是一種用于信息科學(xué)與系統(tǒng)科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)、電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器，于2016年7月12日啟用。接觸式光刻機(jī)的使用原理：其實(shí)在我國對于接觸式光刻機(jī)，曝光時(shí)掩模壓在光刻膠的襯底晶片上，其主要優(yōu)點(diǎn)是可以使用價(jià)格較低的設(shè)備制造出較小的特征尺寸。我們也許不知道接觸式光刻和深亞微米光源已經(jīng)達(dá)到了小于0.1gm的特征尺寸，常用的光源分辨率為0.5gm左右。該設(shè)備的掩模版包括了要復(fù)制到襯底上的所有芯片陣列圖形。在襯底上涂上光刻膠，并被安裝到一個(gè)由手動控制的臺子上，臺子...
電容位移傳感器的原理是利用力學(xué)變化使電容器中其中的一個(gè)參數(shù)發(fā)生變化的方法實(shí)現(xiàn)信號的變化的。該傳感器由目標(biāo)和探針兩個(gè)傳感板組成電容器。當(dāng)電容器之間的距離發(fā)生改變時(shí)，電容器的電容量就會發(fā)生改變，使用適當(dāng)?shù)目刂破骶蜁y出兩個(gè)傳感板距離的變化。測量原理特性：采用電容式測量原理，需要潔凈和干燥的環(huán)境，否則傳感器探頭和被測物體之間的物質(zhì)介電常數(shù)的變化會影響測量結(jié)果。我們也推薦任何時(shí)候，都盡量縮短探頭到控制器之間的電纜長度。對于標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，配備前置放大器，電纜長度設(shè)定為1m。如果配備外置放大...
掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)的試驗(yàn)方法：1、環(huán)境條件檢查：a、溫度、相對濕度檢查：試驗(yàn)期間，用精度不低于1級的干濕球濕度計(jì)每4h測試一次環(huán)境的溫度，相對濕度。千濕球濕度計(jì)應(yīng)置放在與工作臺高度一致，沒有氣流的地方；b、潔凈度檢查：試驗(yàn)期間，每4h測試一次潔凈度。選用測試精度能滿足相應(yīng)潔凈度等級的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器檢測有效工作區(qū)域的潔凈度；c、地面振動檢查：試驗(yàn)期間，測試一次地面振動幅度，振動分析儀的拾振裝置應(yīng)置放于工作臺機(jī)座附近。2、外觀檢查：a、用目視法進(jìn)行外觀質(zhì)量檢查；b、用手感方法檢查移動...
電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國內(nèi)研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種*的測試儀器。本產(chǎn)品基于平板電容原理。電容的兩極分別是傳感器和與之相對的被測物體。如果有穩(wěn)定交流電通過傳感器，輸出交流電的電壓會與傳感器到被測物體之間的距離成正比關(guān)系，從而可以通過測量電壓的變化得...