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分享!晶圓對準設備具有的原位晶圓對準鍵合技術

更新時間:2022-09-19  |  點擊率:1383
  晶圓對準設備是實現(xiàn)系統(tǒng)微型化和系統(tǒng)更高集成度的關鍵工藝設備,尤其是先進的MEMS、MOEMS制造的關鍵設備之一。其鍵合工藝主要包括陽極鍵合、共晶鍵合、熔融鍵合。該設備主要應用于微機電系統(tǒng)極限環(huán)境可靠性測試試驗中的封裝測試過程,為各種微機電器件提供不同類型的鍵合封裝,為檢驗不同材料、鍵合條件對可靠性的影響提供鍵合技術支持。
 
  目前,晶圓對準設備可應用于多個領域,包括MEMS、功率器件、圖像傳感器、先進封裝和化合物半導體等。其還能夠滿足各類基底的鍵合對準需求。
 

 

  主要功能:
  1.可用于陽極鍵合,共晶鍵合,玻璃漿料鍵合,Si-Si熔融直接鍵合等硅片鍵合技術工藝;
  2.可實現(xiàn)三層玻璃-硅-玻璃鍵合、玻璃-硅-硅鍵合;
  3.獨立可控均勻對稱的上、下加熱電極,加熱和冷卻速度軟件可控,最大升溫/冷卻速度可達45度/分鐘。
 
  晶圓對準設備具有的原位晶圓對準鍵合技術:
  1.激活、對準、鍵合一體機;
  2.上下基板獨立加熱,適合Getter材料工藝;
  3.智能作用力控制;
  4.可靠的全自動對準功能,對準精度可達1微米;
  5.可鍵合的芯片及晶圓尺寸為2到12;
  6.自動程序控制功能:適用于研發(fā)或生產(chǎn)等應用;
  7.圖像采集功能:用于識別背面對準標記;
  8.鍵合前晶圓原位激活、化學表面處理功能。
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